下载激光装置以及电子器件的制造方法的技术资料

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激光装置具备:振荡器,其射出脉冲状的种子光;第一放大器,其将种子光放大而射出第一放大光;第一分束器,其将第一放大光分割为第一分割光和能量比第一分割光小的第二分割光;第一延迟光学系统,其使第二分割光延迟;第二放大器,其将延迟后的第二分割光放大...
该专利属于极光先进雷射株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过极光先进雷射株式会社授权不得商用。

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