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于投影单元（ＰＵ）的＋Ｘ，－Ｘ侧，分别将复数个Ｚ读头（７６，７４）以Ｙ标尺的有效宽度的一半以下的间隔（ＷＤ）与Ｘ轴平行地排列成随时有各两个Ｚ读头成对对向于晶圆载台上的Ｙ标尺（反射面）。同时对向于标尺的两个Ｚ读头所构成的读头对中的优先读头的测...
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