温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明涉及一种用于清洁罐状空心体(12)的清洁装置(44)，其中清洁装置(44)包含至少一个界定清洁空间(50)的侧壁(46)，该侧壁(46)形成至少一个装置开口(48)，借助抓取和移动装置(18)，由盖子(30)封闭的空心体(12)可通过...该专利属于GSEC德国半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过GSEC德国半导体设备有限公司授权不得商用。
温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明涉及一种用于清洁罐状空心体(12)的清洁装置(44)，其中清洁装置(44)包含至少一个界定清洁空间(50)的侧壁(46)，该侧壁(46)形成至少一个装置开口(48)，借助抓取和移动装置(18)，由盖子(30)封闭的空心体(12)可通过...