下载一种晶圆级环境可靠性测试载具及测试机台的技术资料

文档序号:45633793

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本申请公开了一种晶圆级环境可靠性测试载具及测试机台,涉及半导体制造技术领域,包括底座,所述底座上分别设有多组第一半管、第二半管、真空塞和温度传感器,所述第一半管和第二半管的两侧外表面均设有连接机构。本申请通过第二盒体等的配合作用下,通过转动...
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