下载基于γ-Al2O3相变TiO2协同诱导的TFT无碱玻璃基板羟基清除方法的技术资料

文档序号:45632808

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本发明公开了一种基于γ‑Al2O3相变TiO2协同诱导的TFT无碱玻璃基板羟基清除方法,S1将γ‑Al2O3粉体和TiO2粉体配制成悬浮液,将悬浮液涂覆在无碱玻璃基板表面;S2将无碱玻璃基板放入高温炉中,向炉内持续通入H2与N2的混合气体,...
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