下载一种针对半导体设备通讯标准协议多通道转化系统及方法的技术资料

文档序号:45628007

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本发明公开了一种针对半导体设备通讯标准协议多通道转化系统及方法,系统包括依序连接的半导体生产标准协议通讯单元、管道输入输出单元、协议转化单元:所述半导体生产标准协议通讯单元,用于跟机台端半导体生产标准协议通讯软件对接,通过点对点连接所述机台...
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