一种针对半导体设备通讯标准协议多通道转化系统及方法技术方案

技术编号:45628007 阅读:20 留言:0更新日期:2025-06-24 18:52
本发明专利技术公开了一种针对半导体设备通讯标准协议多通道转化系统及方法,系统包括依序连接的半导体生产标准协议通讯单元、管道输入输出单元、协议转化单元:所述半导体生产标准协议通讯单元,用于跟机台端半导体生产标准协议通讯软件对接,通过点对点连接所述机台端,管理所述机台端的连接状态,接收所述机台端发送的消息或者主动发送命令给所述机台端;所述管道输入输出单元,将半导体生产标准协议消息根据预先设置的配置文件要求推送到多个管道中去;所述协议转化单元,在各个所述管道收到相应的消息后,根据所述预先设置的配置文件要求将所述半导体生产标准协议消息转换为对应的通讯协议。允许方便的将SECS协议转换为其他协议。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体生产标准协议转化领域,特别是涉及一种针对半导体设备通讯标准协议多通道转化系统及方法


技术介绍

1、在现代半导体设备的运作中,广泛采用了一种名为secs(semiconductorequipment and material international)的通信协议,该协议由国际半导体设备和材料协会(semi)标准化并推广。secs协议为半导体生产设备的控制、数据交换和监控提供了一套全面的规范,确保了不同设备与系统之间的顺畅沟通。然而,采用这一协议也存在一些挑战和不足之处。首先,secs协议的开发周期较长。这是因为其标准化过程需要经过严谨的讨论和审查,以确保协议能够覆盖半导体设备操作的各个细节,满足不同场景的需求。然而,这也导致了新协议的推出速度相对较慢,可能无法及时跟上半导体行业快速发展的步伐。其次,实施secs协议的成本较高。一方面,为了符合secs协议,设备制造商需要对现有设备进行改造或开发全新的设备,这无疑增加了技术研发的成本。另一方面,由于secs协议的复杂性,需要有专业知识和经验的工程师来开发、实施和维护,这也就意味着更高的人本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种针对半导体设备通讯标准协议多通道转化系统,其特征在于,包括依序连接的半导体生产标准协议通讯单元、管道输入输出单元、协议转化单元:

2.如权利要求1所述的针对半导体设备通讯标准协议多通道转化系统,其特征在于,还包括配置管理单元,所述配置管理单元用于:

3.如权利要求1所述的针对半导体设备通讯标准协议多通道转化系统,其特征在于,还包括数据验证和错误处理单元,用于:

4.如权利要求1所述的针对半导体设备通讯标准协议多通道转化系统,其特征在于,还包括性能监控和优化单元,用于实时监控系统各个组件的性能指标。

5.一种针对半导体设备通讯标准协议...

【技术特征摘要】

1.一种针对半导体设备通讯标准协议多通道转化系统,其特征在于,包括依序连接的半导体生产标准协议通讯单元、管道输入输出单元、协议转化单元:

2.如权利要求1所述的针对半导体设备通讯标准协议多通道转化系统,其特征在于,还包括配置管理单元,所述配置管理单元用于:

3.如权利要求1所述的针对半导体设备通讯标准协议多通道转化系统,其特征在于,还包括数据验证和错误处理单元,用于:

4.如权利要求1所述的针对半导体设备通讯标准协议多通道转化系统,其特征在于,还包括性能监控和优化单元,用于实时监控系统各个组件的性能指标。

5.一种针对半导体设备通讯标准协议多通道转化的方法,其特征在于,包括如下步骤:

6.如权利要求5所述的针对半导体设备通讯标准协议多通道转化的方法,其特征在于,接收...

【专利技术属性】
技术研发人员:杨旭东程笑天
申请(专利权)人:宁波乘黄智造计算机科技有限责任公司
类型:发明
国别省市:

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