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本技术涉及一种大容量真空共晶炉腔体组件，包括由外壳体围合形成的腔体、设置于腔体内的基板、用于加热基板的加热机构以及用于冷却基板的冷却机构，加热机构包括沿腔体的长度或宽度方向间隔设置的多组加热灯管，以及套设于加热灯管之外的护套，所述护套和加热...
该专利属于烟台华创智能装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过烟台华创智能装备有限公司授权不得商用。

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