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本技术属于晶圆加工移载装置技术领域，尤其涉及一种防晶圆翘曲加工移载装置，包括支撑座，支撑座内端均设置有第一真空吸盘，第一真空吸盘周围通过可拆卸连接有第一弹性圈；推拉杆使第一真空吸盘靠近或远离第二真空吸盘，实现第一真空吸盘对晶圆进行抓取和摆放...
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