温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术提供了一种测量晶圆工作台与顶针帽高度的治具，其包括基座和千分表，基座底部固定在顶针帽上，基座上设有第一通孔和第二通孔，第一通孔设于顶针帽上表面；第二通孔设于晶圆工作台上表面，千分表滑动安装在基座上方，使千分表的测头穿设于第一通孔或者第...
该专利属于江苏芯德半导体科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏芯德半导体科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。