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本发明属于工业自动化领域，聚焦工业机器人于半导体晶圆制造领域，提出基于多模态感知与智能决策的系统。借助在机器人及设备上集成多种传感器，运用多传感器融合、多模态数据融合、多物理场监测等技术，结合动态轨迹规划、深度学习、自适应控制、强化学习以及...
该专利属于天津赛威工业技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津赛威工业技术有限公司授权不得商用。

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