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本发明涉及集成电路生产技术领域，尤其是指一种转盘式预叠设备，包括第一上料机构、第二上料机构、第三上料机构、移料机构及转盘机构，转盘机构设置有多个用于容置物料的固定模组，第一上料机构、第二上料机构、第三上料机构及移料机构沿着转盘机构的转动方向...
该专利属于菲迪斯智能装备（广东）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过菲迪斯智能装备（广东）有限公司授权不得商用。

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