下载一种高度监测装置的技术资料

文档序号:45577617

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本技术提供了一种高度监测装置,属于半导体键合领域。该高度监测装置包括键合机,用于承载待键合产品。高度监测设备,安装于键合机的上方,用于对待键合产品的高度进行测量并输出测量的数据。控制设备,连接至高度监测设备,用于接收高度监测设备输出的数据,...
该专利属于上海光键半导体设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海光键半导体设备有限公司授权不得商用。

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