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本申请涉及一种晶圆清洗装置双层快门结构及晶圆清洗装置。本技术的晶圆清洗装置双层快门结构，门体为双层结构，内层耐腐蚀外层为防护罩，确保门体在长时间使用不被晶圆清洗装置内溢出的清洗液或者气体腐蚀。通过设置连接杆连接门体与滑块，使驱动件、滑轨、导...
该专利属于江苏亚电科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏亚电科技股份有限公司授权不得商用。

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