下载一种芯片良裸晶粒测试治具及测试方法的技术资料

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本发明公开了一种芯片良裸晶粒测试治具及测试方法,测试治具包括:底座,底座上通过支撑座安装有治具本体,治具本体内部腔体设置有隔热板,治具本体通过隔热板分隔为多个腔体,腔体内部开设有多组气体流道路径;测试方法包括:通过第一常温空气路径吸附芯片,...
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