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本技术公开了一种硅片堆叠盒及硅片转运装置,硅片堆叠盒包括底板、挡板与调节组件,挡板设置有多个在所述底板的上方限定出供硅片放置的置片空间,相对设置的两个挡板中的至少一个与调节组件连接,调节组件包括弹性件与驱动件,弹性件向挡板施加靠近置片空间的...该专利属于深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司授权不得商用。
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本技术公开了一种硅片堆叠盒及硅片转运装置,硅片堆叠盒包括底板、挡板与调节组件,挡板设置有多个在所述底板的上方限定出供硅片放置的置片空间,相对设置的两个挡板中的至少一个与调节组件连接,调节组件包括弹性件与驱动件,弹性件向挡板施加靠近置片空间的...