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本发明公开了一种半导体生产用晶圆检测装置，涉及晶圆生产检测技术领域，包括用于转移半成品晶圆的传递组件，传递组件带动晶圆转移，当出现瑕疵品时自动对晶圆进行分类，传递组件侧边设置有正面检测组件，正面检测组件通过光学系统对晶圆进行检测，且正面检测...
该专利属于苏州搏技光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州搏技光电技术有限公司授权不得商用。

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