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本技术涉及一种便于冷却的物理气相沉积装置，至少包括：转运腔体，转运腔体为中空的多棱柱，具有多个侧面，每个所述转运腔体的侧面设置有对应的至少一个输送通道；第一工艺腔体，位于转运腔体的第一侧面的外侧，通过输送通道与转运腔体的第一侧面连接；第一冷...
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