下载离子源栅网结构及其调整方法的技术资料

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一种离子源栅网结构及其调整方法,其中调整方法包括:提供栅网结构,所述栅网结构包括屏栅和加速栅,所述屏栅包括若干呈周期排布的第一通孔,所述加速栅包括若干呈周期排布的第二通孔;装机,使所述屏栅和所述加速栅均垂直于第一方向设置,所述屏栅和所述加速...
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