下载一种可在线更换阴极块的冷阴极气体放电电子枪的技术资料

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本技术涉及电子束熔炼技术领域,具体涉及一种可在线更换阴极块的冷阴极气体放电电子枪。传统的电子枪设计通常需要在更换阴极块时停机并解除真空环境,这不仅增加了停机时间,而且可能对设备造成热应力,影响长期稳定性。本技术包括内部空间为水冷放电腔室的上...
该专利属于沈阳真空技术研究所有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过沈阳真空技术研究所有限公司授权不得商用。

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