一种可在线更换阴极块的冷阴极气体放电电子枪制造技术

技术编号:45564329 阅读:13 留言:0更新日期:2025-06-17 18:31
本技术涉及电子束熔炼技术领域,具体涉及一种可在线更换阴极块的冷阴极气体放电电子枪。传统的电子枪设计通常需要在更换阴极块时停机并解除真空环境,这不仅增加了停机时间,而且可能对设备造成热应力,影响长期稳定性。本技术包括内部空间为水冷放电腔室的上腔体和内部空间为光波导室的下腔体,在上腔体和下腔体间设置一个插板阀组件,插板阀组件包括阀体,阀体一端设置有气缸组件,阀体内设置有滑动密封组件,通过气缸组件带动滑动密封组件移动实现对上腔体和下腔体的密封,从而实现在不破坏下腔体内光波导室真空环境的情况下,对上腔体内的阴极块进行更换,避免了因停机更换阴极块对生产效率的降低,降低了维护的成本。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及电子束熔炼,具体涉及一种可在线更换阴极块的冷阴极气体放电电子枪


技术介绍

1、在高精度熔炼和加工过程中,冷阴极气体放电电子枪扮演着至关重要的角色。阴极块作为电子发射的关键部件,其性能直接影响到电子束的质量和稳定性。然而,传统的电子枪设计通常需要在更换阴极块时停机并解除真空环境,这不仅增加了停机时间,而且可能对设备造成热应力,影响长期稳定性。因此,开发一种可以在不破坏真空环境的条件下快速更换阴极块的电子枪,对于提高生产效率和降低维护成本具有显著意义。


技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种可在线更换阴极块的冷阴极气体放电电子枪,该电子枪能够在不破坏光波导室内真空环境下的前提下,实现对阴极块的快速更换。

2、为实现上述目的,本技术采用如下技术方案,包括上腔体和下腔体,上腔体内部空间为水冷放电腔室,上腔体底部设置有与水冷放电腔室连通的第一腔口,水冷放电腔室内上部设置有阴极块,水冷放电腔室底部第一腔口处设置有阳极块,阳极块上设置有第一腔口位置对应、大小匹配的孔;

3、下腔体内部本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种可在线更换阴极块的冷阴极气体放电电子枪,包括上腔体(1)和下腔体(6),其特征在于,

2.如权利要求1所述的一种可在线更换阴极块的冷阴极气体放电电子枪,其特征在于,所述上阀板(402)远离第一腔口的一端设置有限位凸起,阳极块(3)下端突出于第一腔口设置,限位凸起位置与阳极块(3)下端位置对应。

3.如权利要求1所述的一种可在线更换阴极块的冷阴极气体放电电子枪,其特征在于,球座(404)上端与下端设置的球体(405)数量相同。

4.如权利要求1所述的一种可在线更换阴极块的冷阴极气体放电电子枪,其特征在于,所述气缸组件(406)外侧设置有用于控制气...

【技术特征摘要】

1.一种可在线更换阴极块的冷阴极气体放电电子枪,包括上腔体(1)和下腔体(6),其特征在于,

2.如权利要求1所述的一种可在线更换阴极块的冷阴极气体放电电子枪,其特征在于,所述上阀板(402)远离第一腔口的一端设置有限位凸起,阳极块(3)下端突出于第一腔口设置,限位凸起位置与阳极块(3)下端位置对应。<...

【专利技术属性】
技术研发人员:葛家希牟鑫王爱泉马强刘长青李润达
申请(专利权)人:沈阳真空技术研究所有限公司
类型:新型
国别省市:

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