下载一种波前校正变形镜装置的技术资料

文档序号:45551490

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本发明涉及变形镜技术领域,具体为一种波前校正变形镜装置,包括镜体和主镜室,所述镜体与主镜室之间设有连接组件,主镜室上安装有若干促动器组件所述连接组件包括安装在主镜室上的支撑件和防护件,所述促动器组件包括依次设置且连接在一起的粘黏头、离轴校正...
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