【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及变形镜，具体为一种波前校正变形镜装置。
技术介绍
1、随着现代光学系统在高精度成像和光学测量中的广泛应用，特别是在深紫外（duv）光学成像领域，波前校正成为确保系统性能的关键技术之一。波前畸变是由光学系统中的各种误差或不完美导致的，它会严重影响成像质量。在深紫外光学波段，物镜的成像质量要求极高，波前误差尤其敏感，甚至微小的像差也可能会导致图像的模糊或失真，因此，深紫外物镜的波前校正成为了一项重要的技术难题。
2、波前矫正主要通过促动器的位移驱动镜面变形实现波前矫正，现有波前校正变形镜装置的矫正精准和矫正速度还有待进一步的提高，其矫正精度和矫正速度容易受到环境温度变化以及安装误差的影响，由于材料的热膨胀系数差异，变形镜的形变会受到温度波动的显著影响，导致变形镜在不同工作环境下的波前校正不稳定，进而会降低其矫正的精度；其次，促动器的数量较多且安装的空间有限，安装的精度要求高、安装调节的难度大，所以现有波前校正变形镜装置很容易产生安装误差而降低了矫正的精度和速度，继而降低了光学系统的稳定性与可靠性。
【技术保护点】
1.一种波前校正变形镜装置，包括镜体和主镜室，其特征在于：所述镜体与主镜室之间设有连接组件，主镜室上安装有若干促动器组件，镜体通过连接组件安装在主镜室的一侧，促动器组件由另一侧装入主镜室并与镜体连接，且若干促动器组件呈阵列状均匀分布；
2.根据权利要求1所述的一种波前校正变形镜装置，其特征在于：所述轴向预紧件与驱动器之间的螺纹连接方向与压紧件和主镜室之间的螺纹连接方向相反。
3.根据权利要求1或2所述的一种波前校正变形镜装置，其特征在于：所述轴向预紧件上设置有内六角调节区，压紧件上开设有通槽，外部内六角扳手穿过通槽与内六角调节区配合控制轴向预紧
【技术特征摘要】
1.一种波前校正变形镜装置，包括镜体和主镜室，其特征在于：所述镜体与主镜室之间设有连接组件，主镜室上安装有若干促动器组件，镜体通过连接组件安装在主镜室的一侧，促动器组件由另一侧装入主镜室并与镜体连接，且若干促动器组件呈阵列状均匀分布；
2.根据权利要求1所述的一种波前校正变形镜装置，其特征在于：所述轴向预紧件与驱动器之间的螺纹连接方向与压紧件和主镜室之间的螺纹连接方向相反。
3.根据权利要求1或2所述的一种波前校正变形镜装置，其特征在于：所述轴向预紧件上设置有内六角调节区，压紧件上开设有通槽，外部内六角扳手穿过通槽与内六角调节区配合控制轴向预紧件转动。
4.根据权利要求1...
【专利技术属性】
技术研发人员：张奔雷，王富国，王贺，孙滢博，顾仁龙，
申请(专利权)人：长春智冉光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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