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本发明提供了一种减少磷硅玻璃中磷析出的方法、半导体器件及其制作方法，属于半导体领域。该减少磷硅玻璃中磷析出的方法包括提供一纯二氧化硅衬底，通过多次循环沉积的方式在纯二氧化硅衬底的表面沉积磷硅玻璃层至目标厚度，并在相邻两次沉积磷硅玻璃层的间隙...
该专利属于重庆芯联微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过重庆芯联微电子有限公司授权不得商用。

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