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半导体结构的制造方法技术
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文档序号:45547676
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本公开实施例涉及半导体领域,提供一种半导体结构的制造方法,包括:提供基底,基底包括阵列区;形成多个有源柱,有源柱位于阵列区上,有源柱沿第一方向和第二方向排列,有源柱沿第三方向延伸;形成字线,字线沿第一方向延伸,在沿第一方向上,字线覆盖多个有...
该专利属于长鑫科技集团股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫科技集团股份有限公司授权不得商用。
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