下载半导体结构的制造方法的技术资料

文档序号:45547676

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本公开实施例涉及半导体领域,提供一种半导体结构的制造方法,包括:提供基底,基底包括阵列区;形成多个有源柱,有源柱位于阵列区上,有源柱沿第一方向和第二方向排列,有源柱沿第三方向延伸;形成字线,字线沿第一方向延伸,在沿第一方向上,字线覆盖多个有...
该专利属于长鑫科技集团股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫科技集团股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。