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本发明涉及半导体制造技术领域，提供了一种新型基材背磨保护装置及其使用方法，其中，公开了一种新型基材背磨保护装置，包括用于托起基材的托架，托架包括架体，架体的顶面上开设有托槽，托槽的侧面与基材的侧面贴合，架体的底面上开设有通孔，通孔与托槽连通...
该专利属于上海凯锐恩半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海凯锐恩半导体科技有限公司授权不得商用。

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