下载一种激光干涉距离传感器传递函数标定方法的技术资料

文档序号:45544276

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本发明涉及一种激光干涉距离传感器传递函数标定方法,属于激光干涉位移测量技术领域,包括以下步骤:S1:在干涉系统的参考光路或信号光路中引入相位调制模块,为参考光或信号光提供正弦相位调制;以单向、稳定渐变的位移方式移动目标,测量目标反射光与参考...
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