【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于激光干涉位移测量，涉及一种激光干涉距离传感器传递函数标定方法。
技术介绍
1、如图1所示，激光干涉位移测量技术是最经典的高精度位移测量方法，它以光波长为基准，能实现微米级测量精度，广泛应用于精密零件、光学元件、半导体器件等领域，是表面尺寸与形貌、变形与振动等精密测量的通用技术。但由于经典的激光干涉位移测量技术，采用波长计数的数据处理方法，因而只能用于相对位移的测量、无法实现绝对距离的测量；而且其测量精度的极限亦受制于激光波长、测量精度仅为微米级。
2、而激光干涉的相位解调方法，能突破激光干涉位移测量波长计数的技术这两个瓶颈，有可能实现亚微米甚至纳米级精度的绝对距离测量，因而受到广泛关注。迄今为止已经涌现出众多激光干涉的相位解调方法。
3、虽然激光干涉相位解调技术，从理论上突破了光波长的瓶颈，但要从技术上确保亚微米甚至纳米级的测量精度，就需要对它们解调测量结果的准确性进行标定。激光干涉相位解调方法的亚微米纳米级的标定，目前主要采用两种方法对其测量结果进行评估。一是用纳米级的高精度台阶板作为标定的标准件...
【技术保护点】
1.一种激光干涉距离传感器传递函数标定方法，其特征在于：包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的激光干涉距离传感器传递函数标定方法，其特征在于：所述以单向、稳定渐变的位移方式移动目标，具体通过如下方式获得：将待测目标固定在压电陶瓷上，对压电陶瓷施加高电压令其产生大位移，随后突然断掉电压，压电陶瓷的位移会随着时间逐渐归零，该过程单向且稳定渐变，带动目标产生单向、稳定渐变的位移。
3.根据权利要求1所述的激光干涉距离传感器传递函数标定方法，其特征在于：所述以单向、稳定渐变的位移方式移动目标，是通过弹簧、位移平台或电机方式实现的。
4.根...
【技术特征摘要】
1.一种激光干涉距离传感器传递函数标定方法，其特征在于：包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的激光干涉距离传感器传递函数标定方法，其特征在于：所述以单向、稳定渐变的位移方式移动目标，具体通过如下方式获得：将待测目标固定在压电陶瓷上，对压电陶瓷施加高电压令其产生大位移，随后突然断掉电压，压电陶瓷的位移会随着时间逐渐归零，该过程单向且稳定渐变，带动目标产生单向、稳定渐变的位移。
3.根据权利要求1所述的激光干涉距离传感器传递函数标定方法，其特征在于：所述以单向、稳定渐变的位移方式移动目标，是通过弹簧、位移平台或电机方式实现的。
4.根据权利要求1所述的激光干涉距离传感器传递函数标定方法，其特征在于：步骤s1中所述相位调制模块为压电陶瓷参考镜，通过电压控制压电陶瓷，让参考镜产生正弦震荡，从而为参考光或信号光提供正弦相位调制。...
【专利技术属性】
技术研发人员：蒋家林，陈伟民，刘文涛，
申请(专利权)人：重庆孚纳科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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