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本发明提供一种高分子化合物包覆的光掩膜，包括透明基板，透明基板包括中间区域和环绕中间区域的边缘区域；线路图形，位于透明基板的中间区域，为不透光材料形成的几何图案，用于定义半导体器件的电路结构；膜框，粘附于透明基板边缘区域的环形框架，环形框架...
该专利属于绍兴芯链半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过绍兴芯链半导体科技有限公司授权不得商用。

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