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粘接膜、临时固定材料、固化物、层叠体和电子部件的制造方法技术
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文档序号:45538666
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本发明提供一种粘接膜,其即使在照射低能量的激光的情况下也能够高效地剥离支撑体,并且即使在进行高温加工处理的情况下对被粘物的剥离性也优异。另外,本发明能够提供该粘接膜的固化物。此外,本发明提供依次具有支撑体、该粘接膜、半导体的层叠体。此外,本...
该专利属于积水化学工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过积水化学工业株式会社授权不得商用。
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