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一种可自动跟踪并调整蒸镀层厚度的控制系统及方法技术方案
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下载一种可自动跟踪并调整蒸镀层厚度的控制系统及方法的技术资料
文档序号:45536999
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本发明涉及蒸镀层厚度控制技术领域,具体的说是一种可自动跟踪并调整蒸镀层厚度的控制系统及方法,包括:监测模块,所述监测模块用于实时获取蒸镀层厚度信息并将其传输至控制模块;控制模块,所述控制模块根据预设厚度与实际厚度的差异,利用控制算法生成控制...
该专利属于安徽旭峰电容器有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过安徽旭峰电容器有限公司授权不得商用。
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