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本申请公开了一种晶圆表面形貌图像成像方法、装置、设备、介质及产品，应用于集成电路技术领域。本方法中，通过波形发生器以一定频率采集探测器输出的第一电压信号。由于探测器的信号不是瞬时的，存在拖尾现象，则上一个像素点的信号会影响下一个像素点的信号...
该专利属于东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司授权不得商用。

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