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测量装置制造方法及图纸
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下载测量装置的技术资料
文档序号:45530892
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提供一种具备小型且轻量的可动体的测量装置。测量装置(1)具备:具有镜子(113)的可动部(11);具有光出射点(121)、光入射点(122a和122b)、以及光学系统的可动部(12);调整可动部(12)的位置的驱动机构(13);对驱动机构(...
该专利属于松下知识产权经营株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过松下知识产权经营株式会社授权不得商用。
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