测量装置制造方法及图纸

提供一种具备小型且轻量的可动体的测量装置。测量装置(1)具备：具有镜子(113)的可动部(11)；具有光出射点(121)、光入射点(122a和122b)、以及光学系统的可动部(12)；调整可动部(12)的位置的驱动机构(13)；对驱动机构(13)进行控制的控制部(14)；以及至少一个光纤(16)。从光出射点(121)射出的光经由光学系统照射到镜子(113)，从镜子(113)反射的反射光入射到光入射点(122a和122b)。控制部(14)通过根据入射到光入射点(122a和122b)的反射光的强度来控制驱动机构(13)，据此来对可动部(12)的位置进行调整。光出射点(121)或光入射点(122a或122b)是至少一个光纤(16)的端部(161)。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及测量装置。

技术介绍

1、接触式三维形状测量仪用于对透镜等形状进行高精度地测量中。在专利文献1中公开了一种用于接触式三维形状测量仪的光学探针的构成。

2、(现有技术文献)

3、(专利文献)

4、专利文献1日本专利第3000819号公报

技术实现思路

1、专利技术要解决的课题

2、本公开的目的在于提供一种具备小型且轻量的可动体的测量装置。

3、用于解决课题的手段

4、本公开的一个方式所涉及的测量装置具备：第一可动体，该第一可动体具有反射体；第二可动体，该第二可动体具有光出射点、光入射点及光学系统；驱动机构，对所述第二可动体的位置进行调整；控制部，对所述驱动机构进行控制；以及至少一个光纤，从所述光出射点射出的光经由所述光学系统照射到所述反射体，从所述反射体反射的反射光入射到所述光入射点，所述控制部根据入射到所述光入射点的反射光的强度，对所述驱动机构进行控制，据此来调整所述第二可动体的位置，所述光出射点或所述光入射点是所述至少一个光纤本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种测量装置，

2.如权利要求1所述的测量装置，

3.如权利要求1所述的测量装置，

4.如权利要求1至3的任一项所述的测量装置，

5.如权利要求1至3的任一项所述的测量装置，

6.如权利要求1至3的任一项所述的测量装置，

7.如权利要求1至3的任一项所述的测量装置，

8.如权利要求1至3的任一项所述的测量装置，

9.如权利要求1至3的任一项所述的测量装置，

10.如权利要求1至3的任一项所述的测量装置，

11.如权利要求1至3的任一项所述的测量装置，

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【技术特征摘要】

1.一种测量装置，

2.如权利要求1所述的测量装置，

3.如权利要求1所述的测量装置，

4.如权利要求1至3的任一项所述的测量装置，

5.如权利要求1至3的任一项所述的测量装置，

6.如权利要求1至3的任一项所述的测量装置，

7.如权利要求1至3的任一项所述的测量装置，<...

【专利技术属性】
技术研发人员：能泽克弥，清原孝行，
申请(专利权)人：松下知识产权经营株式会社，
类型：发明
国别省市：