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本技术公开了一种控温装置及曝光设备，包括机体，该机体内形成有由空气气流组成的首尾相连的风道；设置在风道首端的控温组件，该控温组件能够改变自身的温度且与风道发生热量传递；以及设置在风道流动路径上的曝光组件，该曝光组件能够与风道发生热量交换。本...
该专利属于合肥芯碁微电子装备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥芯碁微电子装备股份有限公司授权不得商用。

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