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本申请公开了显微镜旋转托盘装置，涉及晶圆检测技术领域，包括载物台、底座以及导气柱；载物台内设有真空腔；载物台顶面设有若干连通真空腔的吸附孔；导气柱垂直于载物台，且其顶部通过旋转接头与载物台的底部转动连接；导气柱内的导气通道经旋转接头与真空腔...
该专利属于广东先导微电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东先导微电子科技有限公司授权不得商用。

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