显微镜旋转托盘装置制造方法及图纸

本申请公开了显微镜旋转托盘装置，涉及晶圆检测技术领域，包括载物台、底座以及导气柱；载物台内设有真空腔；载物台顶面设有若干连通真空腔的吸附孔；导气柱垂直于载物台，且其顶部通过旋转接头与载物台的底部转动连接；导气柱内的导气通道经旋转接头与真空腔连接导通；导气柱与底座转动连接，且其转动中心线垂直于载物台的转动中心线。载物台能够实现横向旋转调节以及实现竖向转动调节，以调节倾斜状态；调节简单便利且灵活，可节约检验时间，提高检验效率。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及晶圆检测，尤其涉及显微镜旋转托盘装置。

技术介绍

1、晶圆在完成磨边后，通常会对晶圆边缘的加工情况进行检验，传统检验方式为人眼直接查验，这种方式对于很多缺陷都无法进行有效检验。为了保证检验准确性，现有通常会采用显微镜装置来进行检验，待检验的晶圆会固定于托盘上，然而现有的托盘其可调方式多为水平调节的，使得显微镜只能单一横向或纵向观察晶圆的某个区域，而遇到需要旋转观察时，将难以实现，费时费力，导致部分缺陷无法很好进行检验，适用性较差。

技术实现思路

1、有鉴于此，本申请的目的是提供显微镜旋转托盘装置，以现有的托盘可调方式单一，无法灵活调节而导致部分场景检验费时费力，适用性较差的技术问题。

2、为达到上述技术目的，本申请提供了显微镜旋转托盘装置，包括载物台、底座以及导气柱；

3、所述载物台内设有真空腔；

4、所述载物台顶面设有若干连通所述真空腔的吸附孔；

5、所述导气柱垂直于所述载物台，且其顶部通过旋转接头与所述载物台的底部转动连接；p>

6、所述导本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.显微镜旋转托盘装置，其特征在于，包括载物台(1)、底座(3)以及导气柱(2)；

2.根据权利要求1所述的显微镜旋转托盘装置，其特征在于，所述底座(3)上竖直安装有立柱(4)；

3.根据权利要求2所述的显微镜旋转托盘装置，其特征在于，所述立柱(4)的外周面上设有贯穿所述立柱(4)且呈类U型的通槽(41)；

4.根据权利要求3所述的显微镜旋转托盘装置，其特征在于，所述通槽(41)的两个侧壁面均设有贯穿所述立柱(4)的贯穿孔。

5.根据权利要求3所述的显微镜旋转托盘装置，其特征在于，所述贯穿孔为螺纹孔；

6.根据权利要求4所述的显...

【技术特征摘要】

1.显微镜旋转托盘装置，其特征在于，包括载物台(1)、底座(3)以及导气柱(2)；

2.根据权利要求1所述的显微镜旋转托盘装置，其特征在于，所述底座(3)上竖直安装有立柱(4)；

3.根据权利要求2所述的显微镜旋转托盘装置，其特征在于，所述立柱(4)的外周面上设有贯穿所述立柱(4)且呈类u型的通槽(41)；

4.根据权利要求3所述的显微镜旋转托盘装置，其特征在于，所述通槽(41)的两个侧壁面均设有贯穿所述立柱(4)的贯穿孔。

5.根据权利要求3所述的显微镜旋转托盘装置，其特征在于，所述贯穿孔为螺...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴瑶，周铁军，毕宏岩，马金峰，田玉莲，
申请(专利权)人：广东先导微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：