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去除全氟碳化物气体的系统，在待处理气体输入口处设置流量控制器（或阀门），通过管路连接到内部通过微波产生等离子体的反应管，在等离子体后部设置催化剂床层，按照气体流入的方向在反应管后部设置有湿式吸收装置。本实用新型具有脱除效率高，能耗低的特点。...
该专利属于大连海事大学所有，仅供学习研究参考，未经过大连海事大学授权不得商用。

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