下载硅棒的少子寿命检测装置的技术资料

文档序号:45504906

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本技术属于硅棒的检测技术领域,具体涉及一种硅棒的少子寿命检测装置,该检测装置包括:工作台;支撑架;两组检测仪,对应设于硅棒的两端面的外侧,两组所述检测仪的检测端朝向所述硅棒对应的端面;驱动组件,用以驱动两组检测仪沿硅棒的轴向相互靠近或远离;...
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