下载基于半导体加工的晶圆片分切装置的技术资料

文档序号:45501097

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本发明涉及晶圆片加工技术领域,尤其涉及基于半导体加工的晶圆片分切装置,包括操作台,操作台的上表面开设有槽口,且操作台的内部对应槽口的位置处安装有自动上料机构,操作台的后端固定有安装板,安装板的前端滑动连接有升降机,升降机的底部安装有分切组件...
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