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本公开的目的在于，提供一种能够有效地进行天线的冷却的装置。本公开的装置包括：壳体，第一容器，其设置在所述壳体内，能够维持减压状态；第二容器，其设置在所述第一容器内，收容被处理物；天线空间部，其设置在所述第二容器内，由一部分透射微波的部件构成...
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