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本发明涉及设备运行控制技术领域，公开了一种匀胶烘烤机运行控制系统。该系统包括：初始化模块，用于对匀胶烘烤机进行参数初始化，生成设备初始状态数据；时序控制模块，用于对匀胶烘烤机的上铲手伺服机构和下铲手伺服机构进行时序控制，获取晶圆位置数据和吸...
该专利属于青岛金汇源电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过青岛金汇源电子有限公司授权不得商用。

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