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本发明提供一种带有吸附固定结构的晶圆定位装置，涉及晶圆加工技术领域，包括：定位座；所述定位座上设置有通孔，通孔内通过螺母安装有中心螺杆，螺母位于定位座的下方，中心螺杆上活动有活动套，定位座上设置有三组通槽，三组通槽内均铰接有铰接板，活动套与...
该专利属于宇弘研科技（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宇弘研科技（苏州）有限公司授权不得商用。

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