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本技术提出一种激光直写多光束刻写系统，该系统包括光源发生装置、光源分光装置、光束调控装置、倍率调整装置、反射折向装置及光束聚焦装置，该激光直写多光束刻写系统采用AOM分光镜将激光发生器发出的激光光束分隔形成多路光束，还采用多件AOD调光镜对...
该专利属于上海卓晶半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海卓晶半导体科技有限公司授权不得商用。

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