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本发明提供了一种基于共溅射技术的二维过渡金属硫族化物(TMDs)的合成方法，旨在解决现有技术在低温可控合成、晶圆级均匀性、层数精准调控及工业化可扩展性方面的瓶颈。该方法通过加热过渡金属化合物至反应温度，并在惰性气体环境下以X元素(Te、Se...
该专利属于中国石油大学（华东）所有，仅供学习研究参考，未经过中国石油大学（华东）授权不得商用。

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