下载静电保护结构及其形成方法的技术资料

文档序号:45437902

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一种静电保护结构及其形成方法,结构包括:具有深N型阱区的衬底;第一隔离结构,位于PMOS区和NMOS区的深N型阱区中且相间隔;P型阱区和N型阱区,位于深N型阱区中,同一MOS区中,P型阱区与N型阱区相间隔,相邻MOS区的N型阱区与P型阱区相...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。

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