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兰州空间技术物理研究所
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一种一体式集成化射频感应耦合阴极制造技术
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文档序号:45437138
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本申请涉及电推进技术领域,具体而言,涉及一种一体式集成化射频感应耦合阴极,包括气路接头、气路绝缘陶瓷、脉冲电极隔离陶瓷、等离子体放电腔、离子收集电极以及阴极顶,其中:气路接头与气路绝缘陶瓷之间设置有过渡装置;气路绝缘陶瓷与脉冲电极隔离陶瓷之...
该专利属于兰州空间技术物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过兰州空间技术物理研究所授权不得商用。
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