一种一体式集成化射频感应耦合阴极制造技术

技术编号:45437138 阅读:14 留言:0更新日期:2025-06-04 19:17
本申请涉及电推进技术领域,具体而言,涉及一种一体式集成化射频感应耦合阴极,包括气路接头、气路绝缘陶瓷、脉冲电极隔离陶瓷、等离子体放电腔、离子收集电极以及阴极顶,其中:气路接头与气路绝缘陶瓷之间设置有过渡装置;气路绝缘陶瓷与脉冲电极隔离陶瓷之间设置有脉冲点火负电极;脉冲电极隔离陶瓷与等离子体放电腔之间设置有脉冲点火正电极;离子收集电极套扣在等离子体放电腔的上方;阴极顶固定在离子收集电极的上方。本申请避免了等离子体放电腔内置放电电极寿命低的问题,可实现小流量、低射频功率耦合放电,降低了对射频电源系统的复杂性要求,实现了射频感应耦合阴极轻量化和集成化的设计目标。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及电推进,具体而言,涉及一种一体式集成化射频感应耦合阴极


技术介绍

1、射频离子电推进作为电推进技术重要的研究方向之一,射频离子电推进放电性能调节参数耦合小,便于制定性能调节控制算法,同时,射频离子电推进结构简单、易于缩比、易于集成,在轻量化和集成化方面具有较为明显的优势。

2、射频阴极是射频离子电推进的重要组成,是射频离子电推进实现功能的首要环节。射频离子电推进主要原理是在射频激励作用下,射频推力器放电腔内感应耦合产生沿放电腔轴向的磁场和角向的涡旋电场,进一步通过对栅极施加脉冲电压,将射频阴极发出的电子吸引到射频推力器放电腔,这些自由电子在感应涡旋电场作用下运动,进而与射频推力器放电腔内的中性原子发生碰撞,形成连续稳定的等离子体放电,最后通过静电栅极系统将离子聚焦加速引出,从而形成推力。

3、射频阴极的结构及工作方式目前主要有三种:1.射频阴极等离子体放电腔内置放电电极,通过放电腔内部击穿放电生产原初电子,进而在射频感应电磁场耦合下使工质气体电离。但是,在该结构及工作方式下,内置电极长期处于射频感应加热状态,且放电腔内离本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种一体式集成化射频感应耦合阴极,其特征在于,包括气路接头、气路绝缘陶瓷、脉冲电极隔离陶瓷、等离子体放电腔、离子收集电极以及阴极顶,其中:

2.根据权利要求1所述的一体式集成化射频感应耦合阴极,其特征在于,所述过渡装置通过电弧焊接或者激光焊接的方式固定在所述气路接头上。

3.根据权利要求2所述的一体式集成化射频感应耦合阴极,其特征在于,所述过渡装置与所述气路绝缘陶瓷之间采用真空钎焊的方式进行固定;

4.根据权利要求3所述的一体式集成化射频感应耦合阴极,其特征在于,所述过渡装置的材料为可伐合金;所述气路绝缘陶瓷、所述脉冲电极隔离陶瓷、所述等离子体放电...

【技术特征摘要】

1.一种一体式集成化射频感应耦合阴极,其特征在于,包括气路接头、气路绝缘陶瓷、脉冲电极隔离陶瓷、等离子体放电腔、离子收集电极以及阴极顶,其中:

2.根据权利要求1所述的一体式集成化射频感应耦合阴极,其特征在于,所述过渡装置通过电弧焊接或者激光焊接的方式固定在所述气路接头上。

3.根据权利要求2所述的一体式集成化射频感应耦合阴极,其特征在于,所述过渡装置与所述气路绝缘陶瓷之间采用真空钎焊的方式进行固定;

4.根据权利要求3所述的一体式集成化射频感应耦合阴极,其特征在于,所述过渡装置的材料为可伐合金;所述气路绝缘陶瓷、所述脉冲电极隔离陶瓷、所述等离子体放电腔以及所述阴极顶的材料为氧化铝陶瓷;所述脉冲点火负电极、所述脉冲点火正电极以及所述离子收集电极的材料为钨、钼或者石墨。

5.根据权利要求4所述的一体式集成化射频感应耦合阴极,其特征在于,所述等离子体放电腔内...

【专利技术属性】
技术研发人员:郭德洲耿海李兴达郭伟龙吴辰宸孙新锋蒲彦旭贺亚强张霄
申请(专利权)人:兰州空间技术物理研究所
类型:发明
国别省市:

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