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提供一种通过超短脉冲有效地对被加工物体进行加工的方法。一种基板等的激光加工方法。对相对于被加工物体为透明波长的超短脉冲激光进行聚光，从表面向被加工物体的背面照射，使聚光后的激光束腰位置与被加工物体的背面间隔开。由此，由在被加工物体内的激光传...
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