温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术提供一种反应腔温度控制系统，包括反应腔、开关单元、冷却单元、温度传感器和控制器；所述反应腔具有第一入口、第二入口、第三入口和气体排出口；所述气体排出口用于排出反应腔内化学反应后的气体至真空泵中；所述温度传感器设置于所述反应腔的外侧壁，...
该专利属于上海通嘉宏盛半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海通嘉宏盛半导体设备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。